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  • 硅抛光片

    硅抛光片规格


    厚度(µm) 
    总厚度变化(µm)
    平整度(µm)
    弯曲度(µm)
    翘曲度(µm)
    颗粒度LLS(ea)
    区熔单晶硅抛光片
    单面抛光片
    150-1500
    ≤5
    ≤5
    ≤20
    ≤20
    <10@0.3μm
    双面抛光片
    150-1500
    ≤5
    ≤5
    ≤20
    ≤20
    <10@0.3μm
    直拉单晶硅抛光片
    单面抛光片
    150-1500
    ≤5
    ≤5
    ≤20
    ≤20
    <10@0.3μm
    双面抛光片
    150-1500
    ≤5
    ≤5
    ≤20
    ≤20
    <10@0.3μm

                 注:如果几何参数有特殊要求,可以根据客户的要求制定。